氧氣中同步分析危爆成分線上分析儀開發完成

氧氣供應在煉鋼製程、半導體製程及液晶顯示器製程中扮演著重要角色，氧氣純度主導著各製程產品之良率高低及工業安全的風險。90年代國外相繼發生空氣分離設備爆炸傷亡事故，空氣分離設備的安全更引起了高度重視。 氧氣工場液氧製程目前之線上危爆氣體成份偵測仰賴GC-FID、NDIR等功能有限之舊型設備，分析能力不足，故開發危爆成份偵測儀器，線上分析氧氣工場液氧製程危爆氣體成份CO2、N2O、CH4、C2~C4，不純物成份Ar、Kr、N2，微量分析技術可達50ppb以下，提高並擴充分析儀應用性，以達成下列預期之目標。 1.一次測定所有成分的新型分析偵測技術取代傳統三種分析偵測技術。 2.精確偵測微量微爆成份，提高氧氣場工業安全。 3.提升線上氣體分析儀技術開發自主性。 4.提升未來國產線上氣體分析儀開發及模組化能力。